臺積電是目前最積極導入極紫外光微影設備提供代工量產服務的晶圓廠，也因臺積電在鰭式場效電晶體（FinFET）技術工藝精進，臺積電在5納米全數導入極紫外光微影設備。

臺積電已宣布3納米延續采用鰭式場效電晶體架構，依此技術架構，向2納米邁進。

臺積電此前在2019年年報中透露，公司已開始開發2納米技術，同時針對2納米以下的技術進行探索性研究。